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C4F8

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刊登者: 高雄市岡山區-元佳宇全部產品:9  

HALOCARBON c318 (C4F8)
Octafluorocyclobutane

web66
Application
Halocarbon c318 is used for a chamber cleaning gas for semiconductor industry. C4F8 is used for the replacement of conventional chamber cleaning gas such as C2F6. It is also used as etching gas in semiconductor and DRAM processes.

Production Specification
Purity       
99.999%       99.995%
N2                     3                   8
O2                     1                   2
OHC                 4                   10
HF                   0.1                0.1
H2O                  1                   1
*Unit: ppm

Package
Cylinder
8L ~ 50L Steel Seamless Cylinder
1000L Steel Cylinder

Valve

Standard CGA valve
DISS valve


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  • anna
  • 你好:請問一下CF4、C4F8、和C4F8的錶頭價格,謝謝純度為5N
  • < 回覆/管理 >
元佳宇
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  • 蘇永成
  • 請問此產品檢驗報告中的OHC代表什麼物質
  • < 回覆/管理 >
元佳宇
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刊登者:元佳宇

  • WeB66會員:一般會員
  • WeB66價值度:4.5
  • 所在地:高雄市
  • 聯絡人:陳先生
  • 電話:**********
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