真空擴散油

擴散泵矽油BRB-74高真空技術中使用的擴散泵油，要求耐熱氧化性，冷卻溫度下蒸氣壓低，且其蒸氣壓隨溫度變化大，沸騰溫度不能過高。早期曾使用水銀，目前主要使用礦油類、酯類、聚苯醚及矽油等。其中以矽油的性能最好，它具有熱氧化穩定性高、粘溫係數小、沸點範圍窄、蒸氣壓曲線陡（溫度變化一點，蒸氣壓變化很大），常溫蒸氣壓低，凝固點低，加之化學惰性，無毒、無味、無腐蝕。因而它可在250℃下長時間使用，在真空下允

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