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吸附工件可局部區域性吸附氣孔徑小，耗氣量少且吸力強，工件可局部吸附，不會造成破真空情形。高溫燒結、高硬度、耐磨耗、耐化學腐蝕性且不發塵氧化鋁材質，經1500℃以上高溫完全燒結，不會有發塵的問題。孔隙度均勻、吸附力強且分佈均勻、可高精度承載可均勻吸附工件，特別是薄膜或薄物件的吸附平坦度台灣聯合租車股份有限公司孔徑小可均勻承載工件，不會造成被吸物的變形。氣浮元件產品孔徑大小可由0.2µm至30µm，可應用在各種特殊用途。目前產品有0.2、0.8、2、5、10、20、30µm。高平面度要求，可依尺寸達0.01至0.05mm。單片尺寸可達600*520mm，組合尺寸可達2*2m以上。 web66

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