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日本Engis氮化鋁基板拋光設備

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刊登者: 桃園市楊梅區-儒漢甡股全部產品:27  

日本Engis超精密拋光專業設備及技術可針對特殊
脆硬等
材料施以精密拋光加工,因應業界最高
規格要求。 web66
氮化鋁之特殊脆硬材料已使用於半導體設備製程
零組件以及LED散熱用的氮化鋁基板,目前日本
國內廠商大多採用日本Engis之超精密拋光設備及
技術進行拋光加工。
現在日本國內之LED散熱用
的氮化鋁基板要求面粗度需要達到Ra<3nm,而
日本Engis以超高拋光技術並搭配優異Lapping製程
,在兩道拋光製程下已經可達到3nm以下,
並可
依客戶實際需求加以研發新的拋光製程,而且

以解決客戶在氮化鋁(AlN)基板拋光技術及製程上
盲點。

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刊登者:儒漢甡股

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  • 電話:**********
  • 手機:0936742122
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