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透氣陶瓷--精密陶瓷材料
透氣陶瓷板具有質量輕、熱導率低、高強度、耐高溫、低介電常數等特性,應用於半導體晶圓的研磨及切割製程。
透氣陶瓷板具有質量輕、熱導率低、高強度、耐高溫、低介電常數等特性,應用於半導體晶圓的研磨及切割製程。在TFT-LCD,太陽能各製程的檢測中,透氣陶瓷板也提供機台設計上更多樣的選擇。同時更可運用於航空航天之隔熱材料、透明陶瓷製造或高純材料提煉用超高溫設備隔熱內襯以及電子通訊等領域。
1.多孔氧化鋁陶瓷:氧化鋁含量不低於99.9%,適用於1850℃高溫還原氣氛爐之隔熱層。低熱容、低導熱率、輕質、隔熱效果佳,長期使用不碎裂、不掉渣、穩定性高。
2.高緻密氧化鋁陶瓷:常溫抗彎強度達300MPa,具高純度、高緻密度、耐磨及絕緣性能良好等特點,產品可按客戶需求製造,如大尺寸平板、各種零件及窯具。其主要特點為純度高,燒結產品零污染,耐急冷急熱性佳,不易變形、不開裂、使用壽命長。
3.低介電陶瓷:主要應用於航天、航空、電子等方面,如無線接收及發射。其主要特點為介電常數低,2.5 ~ 5,並可按需要訂製。抗熱沖擊性良好,抗機械衝擊力強。
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