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首頁/中勤實業/SMIF Pod - 晶舟自動化傳送盒
中勤實業股份有限公司
中勤實業股份有限公司
加入時間:2008-01-03資本額:20000萬
瀏覽次數:237by:中勤實業

SMIF Pod - 晶舟自動化傳送盒

SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒，自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette)，可固定晶圓片，確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

SMIF Pod / 晶舟自動化傳送盒

SMIF Pod / 晶舟自動化傳送盒

晶舟自動化傳送盒 / 晶舟傳送盒 / Wafer SMIF Pod 200mm(8吋)
 
晶舟自動化傳送盒
產品規格
產品名稱：SMIF Pod / 晶舟自動化傳送盒
產品編碼：WSP200
產品尺寸：
　 292.2(L) x 282.8(W) x 253.6(H)mm
重　　量：2600g
容　　量：1 Set 8”Wafer Cassette
適用晶圓：200mm(8吋)晶圓
組成材質：PC/PC ESD
 
產品說明

SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒，自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette)，可固定晶圓片，確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

高潔淨度承載，選配充氣功能，耐高溫耐磨耗材質
CHD三點定位接觸設計，減少印痕 
晶舟自動化傳送盒 晶舟自動化傳送盒 晶舟自動化傳送盒
8" 晶舟自動化傳送盒 8" 晶舟自動化傳送盒 底盤無螺絲設計版本
產品特點

專利字號：
台灣專利字號第M409526號

可搭配RFID電子貨架使用，可自動讀取RFID，記錄每個格位最近100筆RFID資料，並透過人機介面查詢。

中勤實業

公司位置：桃園市-龜山區
統一編號：22907106
聯絡人：沈小姐
電話：03-3185300#318
服務時間：開發產品為各貴重金屬材、晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用，專業技術支援客製化產品製造及服務。服務時間：8:30~18:00，歡迎來電或線上留言諮詢
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#晶舟自動化傳送盒#SMIF#Pod#傳送盒#自動化
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