■特徵
．可同時檢查多片晶片
．在彩色空間中指定良品範圍，即可設定詳細內容
．可以軟體支援品種切換
．可排除NG晶片或標記為不良品。
．可輸入MAP檔案（將檢查結果覆蓋輸出
．可將檢查結果輸出為檔案（MAP檔)
■檢查項目
髒污、變色、異物、裂痕、破損、傷痕
■對象工作物
晶粒切割後的所有晶圓晶片
．環的尺寸：5、6、8吋用平板環（Flat Ring)
．基板尺寸：+-150mm以內
．晶片尺寸：0.1mm～
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