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電子業-半導體業污染控制應用

電子業-半導體業污染控制應用

 

TSI不僅符合微粒子計數的國際標準進而建立標準 

表現
半導體,硬碟驅動器,平板顯示器製造商要求極高水平的性能。即使是在質量輕微的失誤,可以導致嚴重的經濟損失。這顯示在重要製造領域中,精確測量環境條件和性能非常重要,以確保高品質的產品產量。如此重要的產業,你要使用你可以信任的公司-TSI是氣體粒子測量公認的全球標準。 

控制
在不斷提高品質驅使下,你需要可靠的測量和數據,以合理利用的改善工具,如統計過程控制(SPC)。製程的資訊中,不僅有利於最大限度地減少停機時間,也是重要的尋找創造性的方法來提高生產力。TSI FMS 5軟體具有統計過程控制(SPC)的選擇,當發生問題立即通知報警功能,以解決問題。聯結TSI的世界級微粒子和FMS 5軟體測量與統計過程控制(SPC),你就能有強大的工具確保您的製程控制。 

◎TSI –
微粒子計數的領導者
在過去的40年,TSI在精確的粒子測量中一直是公認的領導者。TSI在氣溶膠以及微粒子儀器和許多應用被認為是領先產業的,包括:
過濾測試
環境空氣監測
粉塵監測
發動機排放
潔淨室認證
大氣和氣候研究
奈米微粒測量
呼吸器具緊密度測試
氣溶膠研究
生物檢測 

◎AEROTRAK
粒子計數器,符合現實情況的研究
AEROTRAK
線粒子計數器,包括掌上電腦,便攜式電腦和遙控器,旨在滿足生命科學潔淨室應用的嚴格要求,AEROTRAK粒子計數器符合ISO 21501-4的嚴格規定。這些粒子計數器校準對NIST可追踪PSLs,使用TSI的世界級的分類與凝聚粒子計數器,是公認的標準粒子測量。TSI的久負盛名的高品質和準確性為後盾,AEROTRAK粒子計數器提供最佳的測量和數據,以幫助保持您的過程控制。 

認證與監測 - 變得簡單
無論您定期證明你的潔淨區,不斷監視它們,或兩者兼而有之,TSI產品的任務幫助您簡化而持續符合法規。AEROTRAK攜帶式微粒子計數器,提供一個簡單的圖標驅動的觸摸式界面,因此很容易建立測試參數。準確的數據安全地以多種輸出格式,完美的報告。
FMS 5
監測軟體是一個強大連續監測系統的骨幹。AEROTRAK遠程微粒子計數器和其他環境傳感器,這些製程上所需要的訊息被無縫地整合到FMS 5軟體,並使您能夠輕鬆地產生SPC的圖表。 

◎AEROTRAK
攜帶式微粒子計數器
TSI
提供了一個完整的攜帶式微粒子計數器產品線,包括1 CFM50 LPM100 LPMTSI 9110提供靈敏度到0.1μm1立方英尺,符合等級ISO Class 1級。所有AEROTRAK微粒子計數器TSI軟體FMS 5,以確保準確控制你自己的產品和製程。,這些粒子計數器額外的獨特功能包括:
Ø
可與32點取樣接頭-Manifold連結,符合成本效益的多點監控
Ø
市場上最輕的產品,便於位置與位置間交換的運輸
Ø
提供最多的採樣點10000個和999個位置,並允許你存儲更多信息於單機上
Ø
容易設置和尋找策是參數和位置
Ø
具有及時 ISO 14644-1的通過和失敗報告比對
Ø
可採用長距離樣品採樣管,因此很容易在多個地點進行測試,進行濾網測試,或採取表面粒子樣本
ØTSI
在業界領先採用即插即用的準確低速探針頭,在潔淨室驗證精密的氣流
Ø
最大的聲音報警,即使在最吵雜的環境都容易聽到,並且可以自行調整聲音大小
Ø
具有TRAKPRO™ LiteFMS 5軟體的連接介面
攜帶式微粒計數器 AEROTRAK為您的日常需要建立了新的標準認證。 

◎AEROTRAK
手持式微粒子計數器
TSI
的手持式微粒子計數器對於追踪顆粒污染來源、分類清潔區、尋找過濾器洩漏、進行室內空氣品質調查是一個很好的選擇。當作為調查工具時,這些產品在大空間開始尋找時,能及早識別有問題的地方,幫助您節省時間和金錢。
Model9303
是最經濟的基礎具備3-Channel0.1 CFM (2.83 L/min)的微粒子計數器,Model 9306是最佳的6-Channel0.1 CFM (2.83 L/min)的微粒子計數器
一些獨特的功能,包括:
整合式單手操作
指標顯式彩色觸摸介界的簡單配置
獨特的可變外型
10.000
樣本記錄存儲,250個量測位置
ISO 14644-1
EU GMP Annex 1為內建的測試報告可和不同的軟體如TSI's TRAKPRO™ LiteFMS 5相容 

測試潔淨室空氣流動認證的產品
TSI
氣流產品的準確是全球公認的標準。低流速的儀器可保證潔淨房和其他清潔設備的乾淨。產品包括:
VELOCICALC ®
風速儀
AccuBALANCE ®
空氣捕獲罩
風速變換裝置
DP-CALC™
微流體壓力計 

◎AEROTRAK
遠程粒子計數器
TSI
AEROTRAK遠程粒子計數器,提供一個連續的測試數據直接匯集到TSI FMS 5軟體。這些微粒子計數器可以很容易地安裝在關鍵地點,以確保您的製程受到適當的監管。這些產品可以在其Ethernet連接供電,以簡化安裝,或者通過當地的電力供應。
易於使用的Ethernet(TCP/IP)或連續的Modbus RTU的通訊。容易配置完成本地PC或通過網絡瀏覽器。這些微粒子計數器的數據可儲存在3000採樣點的暫存區。如果系統出現故障,這些粒子計數器能繼續收集和存儲寶貴數據。 

設施監測從未如此輕鬆
FMS 5
是一個污染監測軟件體,可應用於電子業,半導體業,硬碟驅動器等相關行業。FMS 5可協助你的關鍵製成的污染控制,節省您的時間和金錢並減少停機時間。
FMS 5
具有內置的統計過程控制工具。統計參數可以很容易設定,以滿足您的獨特的應用。FMS 5的圖形產生功能可以產生控制圖,並可根據圖表上的量測點顯示完整的資訊。FMS 5統計監測系統可確保監控您的設備在正常運行下的數據完整性。
開放式架構,可輕鬆整合標準輸出的任何傳感器數據。這包括TSIAEROTRAK微粒子計數器,溫度和濕度傳感器,差壓計等等。FMS 5具有內置鏡像數據庫和一個獨特的好友自動熱份方案。用戶自行定義與自動報告選項,可以很容易地獲取有價值的及時的信息。 

立即報警
FMS 5
監控系統具有各種報警選項,提供即時的應變和通報。
FMS 5
建置警報鎖定,直到品質疏失被查覺移除
警報通知可以通過電子郵件和SMS警示發送
報警繼電器可以設立為關閉
監視器也可安裝上快速的視覺警報
軟體上的圖示,可以容易的顯示確定報警地點

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