高壓氣體管路規劃設計
各式高壓氣體管路規劃設計
管路
供應高純度氣體以驅動氣動閥及PUMP 供應高純度氣體以參與擴散製程 供應高純度氣體以參與離子化反應 供應高純度氣體以參與化學氣相沉積 供應高純度氣體以參與乾蝕刻製程 供應高純度氣體以吹淨製程設備零配 件及反應室
大宗氣體(Bulk Gases): N2,O2,H2,He,Ar • 壓縮空氣(Compressed Air):CDA,IA • 特殊氣體(Specialty Gases):
1.可燃性:B2H6,SiH2Cl2 ,NH3 , TEOS,CO... 2.自燃性:SiH4,PH3,Si2H6... 3.助燃性:N2O,NF3,CL2... 4.腐蝕性:Cl2,HBr,BCl3,WF6,NH3... 5.毒性:SiH4,SiH2Cl2,PH3,Si2H6,WF6,TEOS... 6.惰性:C2F6,CF4,CHF3,C4F8,SF6
設備內管路
自動焊接試片
氣體系統
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