高壓氣體管路規劃設計
各式高壓氣體管路規劃設計
管路
供應高純度氣體以驅動氣動閥及PUMP 供應高純度氣體以參與擴散製程 供應高純度氣體以參與離子化反應 供應高純度氣體以參與化學氣相沉積 供應高純度氣體以參與乾蝕刻製程 供應高純度氣體以吹淨製程設備零配 件及反應室
大宗氣體(Bulk Gases)： N2,O2,H2,He,Ar • 壓縮空氣(Compressed Air):CDA,IA • 特殊氣體(Specialty Gases):
1.可燃性：B2H6，SiH2Cl2 ，NH3 ， TEOS，CO... 2.自燃性：SiH4，PH3，Si2H6... 3.助燃性：N2O，NF3，CL2... 4.腐蝕性：Cl2，HBr，BCl3，WF6，NH3... 5.毒性：SiH4，SiH2Cl2，PH3，Si2H6，WF6，TEOS... 6.惰性：C2F6，CF4，CHF3，C4F8，SF6
設備內管路
自動焊接試片
氣體系統
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