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AOI,半導體設備，wafer，鍍鋁片，氧化膜片，氣浮導軌，花崗石構件
加入時間:2014-12-11資本額:300萬
瀏覽次數:388by:羽昌科技
垂直度量測-氣浮導軌
高精度垂直量測,以氣浮方式製做,完全無接觸式,
氣浮導軌
行程:800mm
精度:5u
環境濕度 Humidity：50%
溫度 Temperature：20±1℃
壓力 using air pressure： 4kg/cm2
平台平面度 5μm 以下
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