SEM掃描式電子顯微鏡：電子信號種類與應用

SEM掃描式電子顯微鏡使用電子束而非可見光成像，因此相較於光學顯微鏡具有更高解析度，通常用於觀察微觀結構。此外，依據不同的應用需求，使用者可透過不同的偵測器接收不一樣的電子信號種類，以取得樣品從不同觀測角度的互補資訊。以下將介紹SEM的成像原理，並說明常見的電子信號種類及其特色。

SEM掃描式電子顯微鏡如何成像？

掃描式電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）是一種高解析度的電子顯微鏡，使用高能電子束來掃描樣品表面，透過偵測器接收電子信號，進而轉換生成影像。

掃描式電子顯微鏡與樣品交互作用可產生多種信號，如二次電子（Secondary Electron）、背向散射電子（Backscattered Electron）和特徵X射線（Characteristic X-ray）等。使用不同的偵測器分別接收這些信號，可以對樣品取得更全面的瞭解。

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