暉盛科技股份有限公司NanoElectronics

暉盛科技股份有限公司掌握特殊優越的技術及堅強的研發團隊，係以研發先進電漿技術為主軸，以尖端技術服務為宗旨。 其經營團隊自1999年以來，先後開發出以感應耦合式電漿（ICP, Inductively Coupling Plasma）技術為主之多項電極與專利，並成功推出各式電漿設備與鍍膜方法，這些產品之應用範圍舉凡印刷電路板業、封裝業、半導體業、光電業、3C業等電子領域外，更逐漸應用於各式民生工業及生醫領域。 期許暉盛科技挾技術之優越性、高品質之技術服務及優良之公司體質，成為亞洲甚至是全世界首屈一指之電漿技術開發團隊。 暉盛科技研發經營團隊數年來致力於先進電漿技術之研發，成功地開發出以感應耦合式電漿技術(ICP)為主之多項電極與專利，並先後推出各式電漿設備與鍍膜產品。 這些產品包括： 印刷電路板產業應用之電漿去膠渣機（Plasma Desmear Machine）、電漿鑽孔機（Plasma Drilling Machine）； 封裝產業應用為主之電漿清洗機（Plasma Cleaner）； LCD/OLED產業應用之ITO製程電漿處理機（ITO Plasma Treatment Machine）； LED前段製程應用之電漿去光阻機（Plasma Asher）； IC半導體產業應用為主之全氟化物電漿分解處理機（PFC Plasma Scrubber）等設備， 以及類鑽碳膜（DLC）、氮化鈦膜（TiN）等各式鍍膜產品，品質已達世界水準，並各具獨特之技術，打破長期以來台灣技術Nano Electronics and Micro System Technologies, Inc. (NEMS Tech.), which possesses excellent technologies and strong research group, mainly provides state-of-the-art plasma technologies and advanced technical services. Since the NEMS Tech. operational group set up, many advanced electrodes and patents based on Inductively Coupling Plasma (ICP) technology and Atmospheric Pressure Plasma technology have been developed, and different kinds of vacuum/atmospheric plasma equipments and film coating techniques have been successfully produced. Not only these products or technologies are gradually applied in PCB, Pack