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華康半導體股份有限公司WAKOM
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PSG 磷硅玻璃去除設備
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* 去除爐管製程中產生之磷硅玻璃
* 高產能及低破片率之批次式 (Batch-Type)全自動清洗設備
* 提供單晶矽片表面髒汙及磷硅玻璃清洗處理
* 採用特殊乾燥系統設備，有效降低產品破片率
* 全自動補液技術
* 搭配觸控式螢幕，提供操作簡便的功能性
* 可依用戶端提供 MES/CIM 資料連結
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