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台灣康肯環保設備股份有限公司
台灣康肯環保設備股份有限公司
加入時間:2011-04-01資本額:2000萬
瀏覽次數:2817by:台灣康肯

廢氣處理設備

KT1000FA設備採電熱水洗式設計,比一般瓦斯燃燒式機種節省耗材成 本,也不會有燃燒後產生二氧化碳的問題。其均溫性佳,處理效率較 高,台灣兩大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。K

KT1000FA設備採電熱水洗式設計,比一般瓦斯燃燒式機種節省耗材成 本,也不會有燃燒後產生二氧化碳的問題。其均溫性佳,處理效率較 高,台灣兩大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。KT1000FA 堅固耐用且安全,第一部售出的機台已逾八年,至今仍未除役,深受 客戶肯定。 適合處理: Deposition gas SiH4, SiH2Cl2, WF6, NH3, PH3, SiCl4, TEOS, Si2H6, TDMAT, GeH4, 3MS, 4MS etc. 適合處理: Cleaning gas: NF3

台灣康肯

公司位置:新竹市-東區
統一編號:29048242
聯絡人:藍欲豪
電話:03-5773616#109
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#電熱式#廢氣處理#Scrubber#水洗式#NF3#SiH4#PH3
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