晶圓表面處理

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研磨懸浮分散劑應用於磨料如碳化矽(SiC),碳化硼(B4C),

CBN碳化硼磨料

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火焰處理的物理原理：高溫的火焰將能量傳遞給基材表面的油污和雜質，使其受熱蒸發，達到清潔作用。

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