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AOI,半導體設備，wafer，鍍鋁片，氧化膜片，氣浮導軌，花崗石構件
加入時間:2014-12-11資本額:300萬
瀏覽次數:446by:羽昌科技
陶瓷氣浮導軌
氣浮式線性馬達運動平台簡介:具有XY之定位運動，其架構為H型型式，XY移動於同一平面上，可降低平台高度減少阿貝誤差，導軌
陶瓷氣浮
氣浮式線性馬達運動平台
簡介:
具有XY之定位運動，其架構為H型型式，XY移動於同一平面上，可降低平台高度減少阿貝誤差，
導軌使用陶瓷多孔材質之氣浮軸承所組成之氣浮導軌，其氣浮穩定性較佳，驅動裝置及回授裝置使用線性馬達搭配光學尺，
此平台運動結構摩擦力小，具有快速移動，精度高，整定時間快等優勢。
應用:曝光機載台，影像量測載台
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關鍵字:
#氣浮式線性馬達運動#氣浮式線性馬達#XY定位#阿貝誤差#氣浮導軌#陶瓷氣浮導軌#曝光機#奈米級定位#超高精度#半導體設備