工控王國】原子層沉積系統(ALD)設備銷售
原子層沉積系統有兩個製程腔體，分別作為高介電常數介電層薄膜沉積。薄膜沉積為熱反應方式，非電漿增強型原子層沉積(PEALD)。
Aixtron Genus Stratagem 200
機台型號：Aixtron Genus Stratagem 200
晶片尺寸：200mm
八吋晶片載盤可提供 6 吋、4 吋及破片晶片之製程
元發買賣有限公司/工控王國股份有限公司/松下伺服股份有限公司
(元発買売会社/工控王国株式会社/松下サーボ株式会社)
台灣桃園市平鎮區(324)新光路五段189號
Yuan-Far Electronics Trading Corporation/Spare Parts World Corporation/
Panasonic Servo Corporation
No.189, Sec. 5, Xinguang Rd., Pingzhen Dist., Taoyuan City 32458, Taiwan (R.O.C.)
TEL: 886-3-439-2555，886-3-439-6555
FAX:886-3-439-6922，886-3-439-0111
E-mail: steven1975.tw@gmail.com
https://www.spare-parts.tw/
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