PSC Chamber Wall cooling water loop 翻新,此一重點在法蘭Seal o-ring 接觸點的水道成形,一開始是用機器成型,問題發生在大圓成形後的直角管路彎管 成形,後來自行開發模具作固定,再彎管成形,才完成此一維修案。 圖一為舊品 圖二為銅管大圓成形固定 圖三與圖四為直角彎管 圖五測漏