SVG 6" 立式爐管修改
SVG 6" 立式爐管修改
開始執行時發現拆到只剩骨架，其餘零組件大致上都拆掉，那時候只
有一個念頭；為什麼不買新的？
原本是常壓的OXIDE製程，為ㄋ要改成POLY製程，因此修改好多東西，
1.真空系統：因為MKS真空控制系統太貴，因此修改為流量控壓，但是
真空壓力計台灣品牌沒有保障，使用美製的HASTING Gauge。
2.控制系統：使用三菱Q系列的PLC作主控，搭配溫控器、伺服軸控，
完成溫控與Robot的取放動作。
3.石英部份：因為加熱爐約900mm長，因此Boat長度控制在890mm長，
但是客戶要求170pcs的產能，導致Pitchm約3.46mm高，
增加製作的困難度。
4.加熱爐： 台製，但是穩定度也很高，讓我信心增加不少，在後續
的案件，也多多推廣，是誰說台灣作的加熱爐不能用。
重點在機械加工與機構組合，這樣子也讓我們將8 inch 的立式爐管
修改成功。目前POLY film是已655度200mTor作沉積均勻度可控制在
2.5%以下，中段約為1.5%，自認為還蠻好的，有時候還蠻佩服自己，
這樣子也可以將6inch的修改成8inch的爐管。
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