孚瑞: 極致純淨方案 - 超高純度、低釋氣FFKM

在半導體、TFT-LCD、太陽能光電、醫療製藥及其他高潔淨度製程領域，任何微小的污染源都可能對產品良率與設備穩定性造成毀滅性影響。孚瑞科技深知此關鍵需求，特別提供一系列超高純度 (Ultra-Pure)、低釋氣 (Low Outgassing) 的全氟橡膠 (FFKM) 密封件，為您最嚴苛的應用提供極致的防護。

我們的超高純度FFKM材料，在嚴格受控的潔淨環境中製造，並經過特殊純化處理，大幅降低了可萃取物、金屬離子、有機物與微粒的含量。這類FFKM的極低釋氣率，能有效避免在真空或高溫環境下因材料揮發而導致的製程污染與真空度下降，確保敏感製程環境的絕對潔淨。

憑藉其超越傳統FKM的廣泛化學耐受性（包括強酸、強鹼、高活性電漿氣體、有機溶劑等）、卓越耐高溫特性（可達300°C以上），以及優異的壓縮永久變形，孚瑞的超高純度FFKM產品能確保密封在極端條件下的長期穩定與完整性。無論是蝕刻腔體、PVD/CVD設備、高真空法蘭、高潔淨度流體管路或精密閥件，我們的FFKM密封件都是您確保製程效率與產品良率的關鍵選擇。

選擇孚瑞科技的超高純度、低釋氣FFKM，意味著選擇了更高良率、更長設備稼動時間與更低的維護成本，為您的先進製程保駕護航。

對應Kalrez 9100/9300/9500